超纯水又称UP水，是指电阻率达到18MΩ*cm（25℃）的水。这种水中除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。可以用于超纯材料（半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等）应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程。
一，超纯水检测方法
在原子光谱、高效液相色谱、超纯物质分析、痕量物质等的某些实验中，需要用超纯水，超纯水的制备如下 ：
加入少量高锰酸钾的水源，用玻璃蒸馏装置进行二次蒸馏，再以全石英蒸馏器进行蒸馏，收集于石英容器中，可得超纯水。
使用强酸型阳离子和强碱型阴离子交换树脂柱的混合床或串联柱。可充分除去水中的阳、阴离子，其电阻率达10Q·cm的水，俗称去离子水，再用全石英蒸馏器进行蒸馏，收集可得超纯水。
可以利用超纯水检测仪进行检测。或者用PH值来检测
二，超纯水检测标准
中国国家实验室分析用水标准（GB6682-92）《分析实验室用水规格和实验方法》：
指标名称一级水二级水三级水
1级水>10MΩ；2级水>1MΩ；3级水>0.2MΩ
PH值范围（25℃）----5.0-7.5
比电阻MΩ.cm@25℃>1010.2
电导率（25℃）us/cm≤0.115
可氧化物[以O计]mg/L--0.080.40
吸光度（254nm,1cm光程）≤0.0010.01--
二氧化硅（mg/L）0.020.05--
蒸发残渣（mg/L）--1.02.0
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